[发明专利]表面形貌测量系统有效
| 申请号： | 201880030040.7 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN110785625B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | J.罗哈利;E.H.阿德尔森 | 申请（专利权）人： | 胶视公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;申屠伟进 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 形貌测量系统使用成像盒，该成像盒由刚性光学元件和清澈的弹性感测表面形成，该感测表面被配置成从测量表面捕获高分辨率的形貌数据。成像盒可以被配置为系统的可移除的盒，使得包括刚性光学元件和弹性感测表面的成像盒可以作为单个整体组件而被移除和更换，该组件在在多次使用期间是鲁棒/稳定的，并且在需要或期望时是可容易地由用户更换的。该盒还可以有用地结合多个光成形和其他特征以支持最佳照明和图像捕获。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 形貌 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种设备，包括：/n光学元件，其具有包括刚性的光学透明材料的内部；/n所述光学元件的第一表面，所述第一表面包括具有光学透明表面的区域，以用于通过所述光学元件捕获图像；/n所述光学元件的与所述第一表面相反的第二表面；/n穿过所述第一表面和所述第二表面的光学元件的中心轴；/n光学透明弹性体层，其被设置在所述第二表面上并且附接到所述第二表面，所述层的与所述光学元件的第二表面相邻的第一侧具有与所述第二表面的第一折射率匹配的第二折射率，并且所述层的与所述光学元件的第二表面相对的第二侧具有光学涂层，所述光学涂层具有预定反射率；/n在所述第一表面与所述第二表面之间的光学元件的内部周围的侧壁，所述侧壁包括一个或多个光成形特征，所述光成形特征被配置成控制通过所述侧壁的对所述第二表面的照明；以及/n在所述光学元件的外部上的机械楔，以用于实施所述光学元件在成像系统的固定装置内的预定方位，所述机械楔包括围绕所述中心轴的至少一个径向非对称特征，以用于实施所述光学元件在所述成像系统的固定装置内的独特旋转取向。/n
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