[发明专利]脉冲双向射频源/负载有效
| 申请号： | 201880030682.7 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN110741458B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 亚伦·T·瑞多姆斯基;凯·卢;拉里·J·菲斯克二世;R·莱因哈特;马修·G·哈林顿;哈米西·鲁格胡努尼多;杰西·N·克莱因;亚伦·M·贝里 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 袁媛;王珍仙 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 射频电源系统包括主RF发生器和辅助RF发生器，其中每个发生器输出相应的RF信号。主RF发生器还将RF控制信号输出到辅助RF发生器，并且由辅助RF发生器输出的RF信号根据RF控制信号而改变。辅助RF发生器接收指示由主RF发生器和辅助RF发生器输出的相应RF信号的电特性的感测信号。辅助RF发生器确定RF信号之间的相位差。所感测的电特性和相位独立地或协作地被使用以控制由辅助RF发生器输出的RF信号的相位和振幅。辅助发生器包括电感箝位电路，其将所反射的能量从耦合网络返回到可变电阻负载。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 双向 射频 负载 | ||
【主权项】：
1.一种RF系统，包括：/n第一RF发生器，所述第一RF发生器连接到负载的第一电极并向所述第一电极产生第一RF信号；/n第二RF发生器，所述第二RF发生器连接到负载的第二电极并向所述第二电极产生第二RF信号，其中所述第一RF发生器和所述第二RF发生器向所述第一电极和所述第二电极提供相应的RF电压；以及/n控制器，所述控制器用于控制所述第二RF发生器，所述控制器向所述第一RF发生器或所述第二RF发生器中的至少一个产生控制信号，/n其中，根据从所述第一RF发生器传递到所述第二RF发生器的RF控制信号，所述第一RF发生器和所述第二RF发生器以基本上相同的频率操作。/n
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