[发明专利]用于测量到铁磁元件的距离的距离传感器、磁性悬浮系统和用于测量到铁磁元件的距离的方法在审
| 申请号： | 201880030816.5 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110859042A | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;G01D5/14;B65G54/02;C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容涉及用于测量到铁磁元件的距离的距离传感器、用于磁性悬浮铁磁元件的磁性悬浮系统、和用于补偿距离传感器中的杂散磁场的方法。根据第一方面，提出测量到铁磁元件的距离的距离传感器。根据第二方面，提出磁性悬浮铁磁元件的磁性悬浮系统，包括至少一个电磁致动器及根据第一方面的至少一个距离传感器，其中此至少一个距离传感器配置为测量到铁磁元件的距离。根据第三方面，提出测量到铁磁元件的距离的方法，包括提供包括第一霍尔元件及第二霍尔元件的距离传感器；检测第一霍尔元件的第一信号和第二霍尔元件的第二信号；和从第一信号减去第二信号。根据第四实施方式，提出根据第一方面的距离传感器的使用，其中距离传感器使用于磁性悬浮设备中，其中距离传感器配置为测量到悬浮主体的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 到铁磁 元件 距离 传感器 磁性 悬浮 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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