[发明专利]半导体烧结体、电气电子部件及半导体烧结体的制造方法在审
申请号: | 201880031777.0 | 申请日: | 2018-05-17 |
公开(公告)号: | CN110622326A | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 贞赖直树 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | H01L35/14 | 分类号: | H01L35/14;B82Y30/00;H01L35/34 |
代理公司: | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种半导体烧结体,包括多晶体,所述多晶体包括硅或硅合金,构成所述多晶体的晶粒的平均粒径为1μm以下,在所述晶粒的晶界存在包括硅的碳化物、氮化物、氧化物的一种以上的纳米颗粒。 | ||
搜索关键词: | 多晶体 晶粒 纳米颗粒 平均粒径 氮化物 硅合金 烧结体 碳化物 氧化物 晶界 半导体 | ||
【主权项】:
1.一种半导体烧结体,包括多晶体,/n所述多晶体包括硅或硅合金,/n构成所述多晶体的晶粒的平均粒径为1μm以下,/n在所述晶粒的晶界存在包括硅的碳化物、氮化物、氧化物的一种以上的纳米颗粒。/n
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