[发明专利]球状结晶性二氧化硅粒子及其制造方法有效
| 申请号： | 201880033040.2 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN110636989B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 佐藤裕;矢木克昌;田中睦人;德田尚三;阿江正德 | 申请（专利权）人： | 日铁化学材料株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/18 | 分类号： | C01B33/18;H01L23/29 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 王潇悦;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供与以往相比生产率高、制造成本低、并且包含许多高热传导率的石英，且具有高流动性、高分散性、高填充性、低损耗性，也能够应用于半导体领域的球状结晶性二氧化硅粒子及其制造方法。一种球状结晶性二氧化硅粒子，其特征在于，结晶相为整体的90质量％以上，石英结晶为整体的70质量％以上。另外，相对于粒子整体，包含按氧化物换算为0.4～5质量％的碱金属中的至少一种。此外，相对于粒子整体，包含按氧化物换算为1～5质量％的碱土金属中的至少一种。 | ||
| 搜索关键词： | 球状 结晶 二氧化硅 粒子 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种球状结晶性二氧化硅粒子，其特征在于，/n结晶相为整体的90质量％以上，石英结晶为整体的70质量％以上。/n
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