[发明专利]利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法在审
| 申请号： | 201880033794.8 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN110651357A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 李性中;金玟中;具滋鹏;权相民 | 申请（专利权）人： | 吉佳蓝科技股份有限公司;株式会社韩国帕沃那 |
| 主分类号： | H01L21/3065 | 分类号： | H01L21/3065;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 金鲜英;张敬强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法，其包括：在玻璃基板上形成的金属层的上面涂布紫外线固化树脂，执行加压微图案母模的压印工序，并在所述紫外线固化树脂上形成微图案之后照射紫外线，以固化所述微图案的步骤；对被固化的所述微图案的一侧面与上面执行倾斜蒸镀工序，以形成微图案强化部的步骤；执行第一等离子蚀刻工序，以去除所述微图案中因没有形成所述微图案强化部而以垂直方向露出的区域的紫外线固化树脂的步骤；执行第二等离子蚀刻工序，以去除所述金属层中以垂直方向露出的区域的金属层的步骤；以及去除残存于已去除所述以垂直方向露出的区域的金属层的上部的微图案及微图案强化部的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 微图案 金属层 去除 等离子蚀刻工序 紫外线固化树脂 压印 固化 等离子蚀刻 涂布紫外线 玻璃基板 固化树脂 倾斜蒸镀 紫外线 母模 加压 照射 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法，其特征在于，包括：/n在玻璃基板上形成的金属层的上面涂布紫外线固化树脂，执行加压微图案母模的压印工序，并在所述紫外线固化树脂上形成微图案之后照射紫外线，以固化所述微图案的步骤；/n对被固化的所述微图案的一侧面与上面执行倾斜蒸镀工序，以形成微图案强化部的步骤；/n执行第一等离子蚀刻工序，以去除所述微图案中因没有形成所述微图案强化部而以垂直方向露出的区域的紫外线固化树脂的步骤；/n执行第二等离子蚀刻工序，以去除所述金属层中以垂直方向露出的区域的金属层的步骤；以及/n去除残存于已去除所述以垂直方向露出的区域的金属层的上部的微图案及微图案强化部的步骤。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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