[发明专利]真空泵和其加热装置在审
申请号: | 201880034241.4 | 申请日: | 2018-05-23 |
公开(公告)号: | CN110621885A | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 大立好伸;前岛靖;高阿田勉 | 申请(专利权)人: | 埃地沃兹日本有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04 |
代理公司: | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 朱美红;傅永霄 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供适合实现作为真空泵的生成物堆积防止对策使用的加热机构的寿命延长的真空泵和其加热装置。借助旋转体的旋转将气体排气的真空泵具有用来将气体排气的排气流路和将排气流路加热的加热机构(HM);相对于一对配线线路(WL1、WL2)将多个电阻发热体(RE)并联地连接而构成加热机构(HM)。此外,加热机构(HM)具备:电流测量机构(101),测量在多个电阻发热体(RE)流动的电流值的总和;判别机构(102),基于由电流测量机构(101)的测量值判别多个电阻发热体(RE)的故障状况;以及输出机构(103),输出由判别机构(102)判别出的故障状况。 | ||
搜索关键词: | 加热机构 电阻发热体 真空泵 电流测量机构 故障状况 排气流路 判别机构 气体排气 测量 加热装置 配线线路 寿命延长 输出机构 地连接 旋转体 并联 加热 堆积 输出 流动 | ||
【主权项】:
1.一种真空泵,借助旋转体的旋转将气体排气,其特征在于,/n具有:/n排气流路,用来将前述气体排气;以及/n加热机构,将前述排气流路加热;/n相对于一对配线线路将多个电阻发热体并联地连接而构成前述加热机构。/n
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