[发明专利]用于向处理腔室中的电极提供预失真的RF偏置电压信号的分段式RF功率系统和方法有效
| 申请号： | 201880034502.2 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN110663095B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 凯·卢;亚伦·瑞多姆斯基 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 于会玲;宋志强 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种射频功率系统，其包括偏置模块、开关、匹配网络、以及控制模块。偏置模块被配置为分别生成直流DC偏置电压。开关被配置为(i)从偏置模块接收电流，以及(ii)控制来自偏置模块的电流的流动以生成射频偏置电压信号。匹配网络被配置为(i)接收射频偏置电压信号，以及(ii)基于射频偏置电压信号，将射频输出电压信号的至少一部分提供给处理腔室中的基板支撑件的电极。控制模块被连接到开关，并被配置为基于射频输出电压信号控制开关的状态，以成形射频偏置电压信号的波形。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 中的 电极 提供 失真 rf 偏置 电压 信号 段式 功率 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种射频功率系统，包括：/n多个偏置模块，被配置为分别生成多个直流DC偏置电压；/n开关，被配置为(i)从所述多个偏置模块接收电流，以及(ii)控制来自所述多个偏置模块的所述电流的流动以生成射频偏置电压信号；/n第一匹配网络，被配置为(i)接收所述射频偏置电压信号，以及(ii)基于所述射频偏置电压信号，将射频输出电压信号的至少一部分提供给处理腔室中的基板支撑件的电极；以及/n控制模块，被连接到所述开关，并被配置为基于所述射频输出电压信号控制所述开关的状态，以成形所述射频偏置电压信号的波形。/n
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