[发明专利]感光性树脂组合物、聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件在审
| 申请号： | 201880035123.5 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110692018A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 川端健志;吉田健太;岩井悠;涩谷明规 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;C08F283/04;C08F2/50;C08G73/06;G03F7/004;G03F7/037;G03F7/20;G03F7/32;C08F20/00;C08F2/44 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 曹阳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光性树脂组合物、以及聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件，所述感光性树脂组合物在成型为固化膜时具有高断裂伸长率，并且保存稳定性优异。所述感光性树脂组合物，其包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的聚合物前体、光自由基聚合引发剂及溶剂，聚合物前体中所含有的中和点的pH在7.0～12.0的范围的酸基的酸值在2.5～34.0mgKOH/g的范围，聚合物前体具有自由基聚合性基，或者所述感光性树脂组合物包含除了聚合物前体以外的自由基聚合性化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物前体 感光性树脂组合物 固化膜 前体 光自由基聚合引发剂 自由基聚合性化合物 自由基聚合性基 半导体器件 保存稳定性 断裂伸长率 层叠体 中和点 酰亚胺 溶剂 聚苯 酸基 自聚 成型 制造 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其包含：/n选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的聚合物前体；/n光自由基聚合引发剂；及/n溶剂，/n聚合物前体中所含有的中和点的pH在7.0～12.0的范围的酸基的酸值在2.5mgKOH/g～34.0mgKOH/g的范围，/n所述聚合物前体具有自由基聚合性基，或者所述感光性树脂组合物包含除了所述聚合物前体以外的自由基聚合性化合物。/n
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