[发明专利]处理条件设定方法、存储介质和基板处理系统

摘要

本发明提供一种处理条件设定方法、存储介质和基板处理系统，本方法包括：利用基板处理系统内的摄像装置拍摄作为条件设定的基准的基准基板，取得基准基板的拍摄图像的工序；利用摄像装置拍摄在现在的处理条件进行了规定的处理的已处理基板，取得已处理基板的拍摄图像的工序；计算已处理基板的拍摄图像和基准基板的拍摄图像的颜色信息的偏差量的工序；基于预先取得的相关模型和上述颜色信息的偏差量，计算处理条件的补正量的工序；和基于补正量设定处理条件的工序，在每个处理装置中进行取得基准基板的拍摄图像的工序以外的工序。

主权项

1.一种处理条件设定方法，其设定具备对基板进行规定处理的多个处理装置的基板处理系统中的所述规定处理的处理条件，所述处理条件设定方法的特征在于：/n所述基板处理系统包括拍摄基板的表面侧的摄像装置，/n所述处理条件设定方法包括：/n利用所述摄像装置拍摄作为所述处理条件的设定基准的基板的基准基板，基于拍摄结果，取得所述基准基板的拍摄图像的基准图像取得工序；/n利用所述摄像装置拍摄作为在现在的所述处理条件下进行了所述规定处理的基板的已处理基板，基于拍摄结果，取得所述已处理基板的拍摄图像的已处理图像取得工序；/n计算所述已处理基板的拍摄图像和所述基准基板的拍摄图像的颜色信息的偏差量的偏差量计算工序；/n根据表示基于所述摄像装置的拍摄结果的基板的拍摄图像中的颜色信息的变化量与所述处理条件的变化量的相关信息的相关模型和所述颜色信息的偏差量，计算该规定处理的处理条件的补正量的补正量计算工序；和/n基于计算出的所述补正量和现在的所述处理条件，设定该规定处理的所述处理条件的设定工序，/n在每个所述处理装置中，进行所述已处理图像取得工序、所述偏差量计算工序、所述补正量计算工序和所述设定工序。/n