[发明专利]半导体检查装置有效
| 申请号： | 201880035932.6 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN110691968B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 中村共则;岩城吉刚 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01R31/302;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 检查系统(1)具备：光源(33)；镜(40b)；检流计镜(44a、44b)；壳体(32)，其在内部保持镜(40b)与检流计镜(44a、44b)，且具有用于安装光学元件的安装部(46)；及控制部(21a)，其控制检流计镜(44a、44b)的偏转角；控制部(21a)以在通过检流计镜(44a、44b)及镜(40b)的第1光路(L1)与通过检流计镜(44a、44b)及安装部(46)的第2光路(L2)之间切换与半导体器件(D)光学连接的光路的方式控制偏转角，且以切换为第1光路(L1)时的偏转角与切换为第2光路(L2)时的偏转角不重复的方式控制偏转角。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体检查装置，其特征在于，/n是检查半导体器件的半导体检查装置，/n具备：/n第1光源，其产生照射于所述半导体器件的光；/n导光元件，其与所述第1光源光学连接；/n一对检流计镜，其设置于能够经由所述导光元件而与所述第1光源光学连接的位置；/n壳体，其在内部保持所述导光元件与所述一对检流计镜，且具有设置于能够与所述一对检流计镜光学连接的位置的用于安装光学元件的第1安装部；及/n控制部，其控制所述一对检流计镜的偏转角，/n所述控制部以在通过所述一对检流计镜及所述导光元件的第1光路与通过所述一对检流计镜及所述第1安装部的第2光路之间切换与所述半导体器件光学连接的光路的方式控制所述偏转角，/n并且以切换为所述第1光路时的所述偏转角与切换为所述第2光路时的所述偏转角不重复的方式控制所述偏转角。/n
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