[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体装置有效
| 申请号： | 201880037130.9 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110741318B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 川端健志;吉田健太;岩井悠;涩谷明规 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;B32B27/34;C08G73/10;C08G73/22;G03F7/037;G03F7/20;G03F7/32;B32B15/088 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种保存稳定性优异，且灵敏度高的感光性树脂组合物、以及使用了感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体装置。并且，提供一种用于形成感光性树脂组合物的新型化合物。一种感光性树脂组合物，其包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体的聚合物前体、具有硫原子的自由基聚合性化合物、光自由基聚合引发剂及溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 层叠 制造 方法 半导体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其包含：/n选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体的聚合物前体；/n具有硫原子的自由基聚合性化合物；/n光自由基聚合引发剂；及/n溶剂。/n
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