[发明专利]用于高传导性阀的控制板有效
| 申请号： | 201880037239.2 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110709633B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | K·N·乌 | 申请（专利权）人： | 威斯塔德尔特有限责任公司 |
| 主分类号： | F16K1/36 | 分类号： | F16K1/36;F16K1/42;F16K27/02 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人： | 黄小临 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 高纯度流体控制阀，包括可移动控制板，具有流通通道以增强内部阀容积的流体冲扫。该阀为喷射式和阀座式，使用嵌套的孔脊，可在较小的致动器运动的情况下实现高传导性。流通控制板特别适用于快速动作的比例控制应用，例如半导体制造中的气体输送。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传导性 控制板 | ||
【主权项】：
1.用于高传导性阀的控制板，包括：/n控制板主体，形成为基本圆形的盘，其具有平坦侧和与平坦侧相反的相反侧，该控制板配置成通过致动器在阀内移动，该平坦侧具有连续不间断的平坦部分以关闭阀门中的流体流动；和/n限定在控制板主体中的至少一个流体通道，该至少一个流体通道从平坦侧延伸到相反侧。/n
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