[发明专利]测量方法和设备有效
| 申请号： | 201880037363.9 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110709779B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王德胜;赵谦 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法，其涉及：获得使用图案化工艺在衬底上待形成的图案的轮廓的模拟(710)；确定评估点(740)在图案的所模拟的轮廓(710)上的位置，该位置与对应评估点(730)在图案的设计布局(700)上的位置在空间上相关联；以及产生与在评估点(740)在所模拟的轮廓(710)上的位置与对应评估点(730)在设计布局(700)上的位置之间的空间方位对应的电子信息，其中，与空间方位对应的信息被配置为确定评估点(760)在图案中的至少一部分的测量图像(720)上的位置，测量图像(720)上的评估点(760)与设计布局(700)上的对应评估点(730)在空间上相关联。 | ||
| 搜索关键词： | 测量方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：/n获得使用图案化工艺在衬底上待形成的图案的轮廓的模拟；/n通过硬件计算机系统确定评估点在所述图案的所模拟的所述轮廓上的位置，所述位置与对应评估点在所述图案的设计布局上的位置在空间上相关联；以及/n通过所述硬件计算机系统产生电子信息，所述电子信息与在所模拟的所述轮廓上的所述评估点的所述位置和所述对应评估点在所述设计布局上的所述位置之间的空间方位相对应，其中与所述空间方位对应的所述信息被配置用于确定评估点在所述图案的至少一部分的测量图像上的位置，所述测量图像上的所述评估点与所述设计布局上的所述对应评估点在空间上相关联。/n
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