[发明专利]制造衍射光栅的方法在审
| 申请号： | 201880038472.2 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN111065941A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | J·奥尔科宁;I·瓦蒂亚宁;J·拉霍迈基 | 申请（专利权）人： | 迪斯帕列斯有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B6/00;G02B26/08;G02B27/09;C23C16/01;C23C16/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨洁;蔡悦 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造衍射光栅的方法。该方法包括提供第一基板，并使用临时光栅材料在第一基板上制造第一表面轮廓。接下来，第一表面轮廓被最终光栅材料层完全覆盖，并且第二基板被接合到最终光栅材料上。最后，去除第一基板和临时光栅材料以用于在最终光栅材料上产生第二表面轮廓，该第二表面轮廓是第一表面轮廓的负片。本发明允许使用例如无机材料来方便地产生高质量光栅以及用于衍射效率控制的高度和/或填充因子调制。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 衍射 光栅 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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