[发明专利]离子源、质谱仪系统以及产生离子的方法有效
| 申请号： | 201880038994.2 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN110770876B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | J·E·布莱辛;J·莱斯利;J·H·贝蒂 | 申请（专利权）人： | 万机仪器公司 |
| 主分类号： | H01J49/14 | 分类号： | H01J49/14 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东;黄纶伟 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 设备(例如，离子源)、系统(例如，残留气体分析仪)和方法在存在污染气体的情况下提供了质谱仪的延长寿命和提高的分析稳定性，同时实现了采样气体优于内部背景气体的显著优先的电离。一个实施方式是包括气体源、喷嘴、电子源和电极的离子源。气体源经由喷嘴将气体输送到被抽真空的电离容积，并且气体源处于高于被抽真空的电离容积的压力的压力。通过喷嘴的气体在电离容积的电离区域中自由膨胀。电子源发射电子通过电离区域中的膨胀的气体，以使膨胀的气体中的至少一部分电离。电极产生用于从所述电离区域到滤质器的离子流的电场，并且与所述喷嘴间隔开且被定向以限制其暴露于所述气体。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 质谱仪 系统 以及 产生 离子 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于具有滤质器的质谱仪的离子源，所述离子源包括：/n气体源，所述气体源用于将气体输送到被抽真空的电离容积，所述气体源处于明显高于被抽真空的所述电离容积的压力的压力；/n喷嘴，所述喷嘴在所述气体源和所述电离容积之间，通过所述喷嘴的气体在所述电离容积的电离区域中自由膨胀；/n电子源，所述电子源被配置为发射电子，所述电子靠近所述喷嘴通过所述电离区域中的膨胀的所述气体，以使膨胀的所述气体中的至少一部分电离；以及/n电极，所述电极被配置为产生用于从所述电离区域到所述滤质器的离子流的电场，所述电极与所述喷嘴间隔开并且被定向以限制所述电极直接暴露于所述气体。/n
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