[发明专利]扫描电子显微镜的物镜校准有效
| 申请号： | 201880039286.0 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110770624B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 本庄一郎;C·西尔斯;杨河东;夏清;王建伟;徐惠那 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/02 | 分类号： | G02B21/02;G02B27/64;G02B27/62 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 可使用所揭示技术及系统来获得运用较少图像采集对扫描电子显微镜复检工具进行的物镜对准。可基于图像确定用于所述扫描电子显微镜的两个不同X‑Y电压对。基于第一X‑Y电压对的第二图像可用于确定第二X‑Y电压对。可将所述X‑Y电压对施加在所述扫描电子显微镜的Q4透镜或其它光学组件处。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 物镜 校准 | ||
【主权项】：
1.一种方法，其包括：/n在控制单元处接收第一图像，其中所述第一图像提供扫描电子显微镜系统中的物镜的对准信息；/n使用所述控制单元来基于所述第一图像确定第一X-Y电压对，其中所述第一X-Y电压对提供与所述第一图像中相比更靠近对准目标的中心的所述物镜的对准；/n使用所述控制单元来将所述第一X-Y电压对传递到所述扫描电子显微镜系统；/n在所述控制单元处接收第二图像，其中所述第二图像提供所述物镜的对准信息，且所述第二图像是所述第一X-Y电压对的设置的结果；/n使用所述控制单元来基于所述第二图像确定第二X-Y电压对，其中所述第二X-Y电压对提供与所述第一X-Y电压对相比更靠近所述对准目标的所述中心的所述物镜的对准；及/n使用所述控制单元来将所述第二X-Y电压对传递到所述扫描电子显微镜系统。/n
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