[发明专利]先进级的传感器有效
| 申请号： | 201880039450.8 | 申请日： | 2018-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN110809710B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 大东和也;维杰亚库玛·C·维纳寇帕 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/24 | 分类号： | G01F23/24;H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 美国加州圣塔克拉尔,鲍尔斯大道*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种用于检测容器中剩余的材料量的装置。此种装置在与半导体处理器件一起使用时、尤其在材料呈固相时可为有益的。所述装置在设置于容器中的电极与容器的外侧之间测量阻抗，以关于容器可具有何种填充程度进行确定。在某些实施例中，仅使用阻抗的量值来进行此计算。在其他实施例中，使用阻抗的量值及相位。此可用于确定容器内的材料的拓扑。 | ||
| 搜索关键词： | 先进 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880039450.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：管结构和用于制造管结构的方法
- 下一篇：光学立体造形装置用的容器
