[发明专利]具有用于磁控溅射的脉冲和离子通量控制的脉冲功率模块有效
| 申请号： | 201880040072.5 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110771022B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 大卫·N.·鲁左克;罗伯特·安德鲁·斯图伯斯;布莱恩·爱德华·尤尔兹克 | 申请（专利权）人： | 星火工业有限公司 |
| 主分类号： | H02M3/145 | 分类号： | H02M3/145;H01J37/34;C23C14/35;H01L29/72 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 徐江华 |
| 地址： | 美国伊利诺*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中描述电功率脉冲发生器系统和该系统的操作方法。主能量储存电容器供应负DC功率，突跳能量储存电容器供应正DC功率。主脉冲功率晶体管介于主能量储存电容器与输出脉冲轨之间并包括用于控制从主能量储存电容器到输出脉冲轨的功率传送的主功率传送控制输入。正突跳脉冲功率晶体管介于突跳能量储存电容器与输出脉冲轨之间并包括用于控制从突跳能量储存电容器到输出脉冲轨的功率传送的突跳功率传送控制输入。正突跳脉冲功率晶体管控制线连接到正突跳脉冲晶体管的突跳功率传送控制输入。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用于 磁控溅射 脉冲 离子 通量 控制 功率 模块 | ||
【主权项】：
1.一种电功率脉冲生成系统，包括：/n主能量储存电容器，其被构造以供应负直流(DC)功率；/n突跳能量储存电容器，其被构造以供应正DC功率；/n输出脉冲轨；/n主脉冲功率晶体管，其介于所述主能量储存电容器与所述输出脉冲轨之间，其中，所述主脉冲功率晶体管包括主功率传送控制输入结构，用于控制从所述主能量储存电容器通过所述主脉冲功率晶体管到所述输出脉冲轨的功率传送；/n主脉冲功率晶体管控制线，其连接到所述主脉冲功率晶体管的所述主功率传送控制输入结构；/n正突跳脉冲功率晶体管，其介于所述突跳能量储存电容器与所述输出脉冲轨之间，其中，所述正突跳脉冲功率晶体管包括突跳功率传送控制输入结构，用于控制从所述突跳能量储存电容器通过所述正突跳脉冲功率晶体管到所述输出脉冲轨的功率传送；/n正突跳脉冲功率晶体管控制线，其连接到所述正突跳脉冲晶体管的所述突跳功率传送控制输入结构。/n
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