[发明专利]在结构材料层中提供多个通孔的方法在审
| 申请号： | 201880040104.1 | 申请日： | 2018-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110831891A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | E.萨拉吉里克 | 申请（专利权）人： | 细度速治股份公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张萍;杨思捷 |
| 地址： | 瑞士格拉*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用众多MEMS方法步骤来提供在结构材料层中包含通孔的MEMS设备的方法。产生通孔，尤其众多通孔的通用方法，其包括使正性光刻胶的聚合物层在从正性光刻胶的外表面的方向上暴露于光，产生正性光刻胶的暴露层的步骤，该层在凹部的顶部部分中包含相对强烈解聚的正性光刻胶，同时在凹部的底部部分中留下相对较不强烈解聚的正性光刻胶。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 材料 提供 多个通孔 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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