[发明专利]功率转换器单元、等离子体处理设备和控制多个等离子体过程的方法

摘要

一种功率转换器单元(1、1')，能够将电输入功率转换为双极性输出功率，并将该输出功率输送到至少两个独立的等离子体处理腔室(9a、9b、...、9n)，所述单元(1、1')包括：一个用于连接到电力输送网(7)的功率输入端口(2)；至少两个，优选地多于两个的功率输出端口(3a、3b、...、3n)，每个用于连接到等离子体处理室(9a、9b、...、9n)中的相应一个；控制装置(4)，其被配置成能够使用以下中的至少一项的控制参数控制所述单元(1、1')以将双极性输出功率输送到功率输出端口(3a、3b、...、3n)：功率、电压、电流、激励频率和用于保护措施的阈值，使得在第一功率输出端口(3a)处的控制参数中的至少一个不同于在不同的功率输出端口(3b、...、3n)处的相应的控制参数。

主权项

1.一种功率转换器单元(1、1')，其能够将电输入功率转换成双极性输出功率，并将所述输出功率输送到至少两个独立的等离子体处理室(9a、9b、...、9n)，所述单元(1、1')包括：/n-一个功率输入端口(2)，用于连接到电力输送网(7)，/n-至少两个、优选是多于两个的功率输出端口(3a、3b、...、3n)，每个功率输出端口(3a、3b、...、3n)用于连接到等离子体处理室(9a、9b、...、9n)中的相应一个，/n-第一功率转换器级(5)，其被配置成能够将输入功率转换为中间功率、优选转换为DC链路功率，/n-至少一个另外的功率转换器级(6、6a、6b、...、6n)，其被配置成能够将来自第一功率转换器级(5)的中间功率转换为双极性输出功率，和/或/n-在功率转换器级(5、6、6a、6b、...、6n)与输出端口(3a、3b、...、3n)之间的切换装置(8a、8b、...、8n)；/n-控制装置(4)，其被配置成能够使用以下中的至少一项的控制参数控制所述单元(1、1')以将双极性输出功率输送到功率输出端口(3a、3b、...、3n)：功率、电压、电流、激励频率和用于保护措施的阈值，/n使得在第一功率输出端口(3a)处的控制参数中的至少一个不同于在不同的功率输出端口(3b、...、3n)处的相应的控制参数，/n其中，控制装置(4)还被配置成能够控制功率转换器级(5、6、6a、6b、...、6n)和/或切换装置(8a、8b、...、8n)，使得在使用中，所述单元(1、1')在第一时间(T31)在第一输出功率端口(3a)处输送第一输出功率信号持续第一时间帧(T31-T32)，并且在第二时间(T41)在第二输出功率端口(3b、...、3n)处输送第二功率信号持续第二时间帧(T41-T42)，其中，第一时间(T31)不同于第二时间(T41)和/或第一时间帧(T31-T32)不同于第二时间帧(T41-T42)。/n