[发明专利]混合半导体激光器组件以及用于制造这样的组件的方法有效

专利信息
申请号: 201880040293.2 申请日: 2018-06-18
公开(公告)号: CN110785900B 公开(公告)日: 2021-08-13
发明(设计)人: S·梅内佐;O·吉拉德 申请(专利权)人: 法国原子能源和替代能源委员会
主分类号: H01S5/02 分类号: H01S5/02;H01S5/026;H01S5/028;H01S5/10;H01S5/14;H01S5/22
代理公司: 北京市铸成律师事务所 11313 代理人: 潘晓松;林蕾
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种混合半导体激光器组件(1),包括:至少一个第一发射模块(110,120),其包括被成形为以第一给定波长发射电磁辐射的有源区;以及,光学层(200),其包括与有源区(110,120)光学耦合的至少一个第一波导(210,220),波导(210,220)与有源区(110,120)形成以给定波长谐振的光腔。混合半导体激光器组件(1)还包括所谓的散热半导体层(310),所述散热半导体层(310)在第一发射模块(110,120)的与光学层(200)相对的表面上与第一发射模块(110,120)热接触。本发明还涉及用于制造这样的混合半导体激光器组件(1)的方法。
搜索关键词: 混合 半导体激光器 组件 以及 用于 制造 这样 方法
【主权项】:
1.一种混合半导体激光器组件(1),包括:/n-至少一个第一发射模块(110,120),所述至少一个第一发射模块(110,120)包括有源区(111,121),所述有源区(111,121)由直接能隙半导体材料、诸如半导体III-V制成,并且被成形为以第一给定波长发射电磁辐射,/n-光学层(200),所述光学层(200)包括与所述至少一个第一发射模块(110,120)的有源区(111,121)光学耦合的至少一个第一波导(210,220),所述第一波导(210,220)与所述有源区(111,121)形成以所述第一给定波长谐振的光腔,/n所述混合半导体激光器组件(1)的特征在于,其进一步包括:/n-被称为散热半导体层的半导体层(310),所述散热半导体层(310)在所述第一发射模块(110,120)的与所述光学层(200)相对的的表面上与所述第一发射模块(110,120)热接触,/n-用于连接所述至少一个第一发射模块的至少一个第一互连(251,252),所述第一互连(251,252)穿过所述光学层(200)。/n
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