[发明专利]用以支撑真空腔室中载体或部件的支撑装置、用以支撑真空腔室中载体或部件的支撑装置的使用、用以处理真空腔室中载体的设备、及真空沉积系统在审
| 申请号： | 201880040345.6 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN111212930A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 马蒂亚斯·赫曼尼斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/04;C23C14/50;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 说明一种用以支撑真空腔室(101)中的载体或部件的支撑装置(100)。支撑装置(100)包括一或多个电性可控制支撑元件(111)；壳体(112)，用以至少部分地容置此一或多个电性可控制支撑元件(111)，壳体具有容置部(113)，用于此一或多个电性可控制支撑元件(111)；密封件(114)，用以提供壳体和布置于容置部(113)中的此一或多个电性可控制支撑元件(111)之间的气密密封；以及气密连接件(115)，用于电性供应线，电性供应线用于此一或多个电性可控制支撑元件(111)。再者，说明一种制造支撑装置的方法、一种用以处理真空腔室中的载体的设备、及一种真空沉积系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用以 支撑 空腔 载体 部件 装置 使用 处理 设备 真空 沉积 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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