[发明专利]功率转换器单元、等离子体处理设备和控制多个等离子体过程的方法有效
| 申请号： | 201880040374.2 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN110753990B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | J·P·恩格尔施泰特;K·鲁达;J·斯维亚特尼基 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/34;H01J37/34;H02J3/36;H02M7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 波兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种功率转换器单元(1、1')能够将电输入功率转换为双极性输出功率，并将该输出功率输送到至少两个独立的等离子体处理室(9a、9b、…、9n)，所述单元(1、1')包括：‑一个用于连接到电力输送网(7)的功率输入端口(2)，‑至少两个，优选地多于两个的功率输出端口(3a、3b、...、3n)，每个功率输出端口(3a、3b、...、3n)用于连接到等离子体处理室(9a、9b、…、9n)中的相应一个，‑控制装置(4)，其被配置成能够使用功率、电压、电流、激励频率和用于保护措施的阈值中的至少一项的控制参数控制所述单元(1、1')以将双极性输出功率输送到功率输出端口(3a、3b、…、3n)，所述控制装置(4)包括用于每个输出端口(3a、3b、…、3n)的虚拟电源(24a、24b、…、24n)，包含与每个单独的输出端口(3a、3b、...、3n)的操作相关联的所有固定参数和时变参数以及内部状态的单独完整组的每个虚拟电源(24a、24b、…、24n)被保存在所述控制装置(4)中。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 转换器 单元 等离子体 处理 设备 控制 过程 方法 | ||
【主权项】：
1.一种功率转换器单元(1、1')，其能够将电输入功率转换成双极性输出功率，并将所述输出功率输送到至少两个独立的等离子体处理室(9a、9b、...、9n)，所述单元(1、1')包括：/n-一个功率输入端口(2)，用于连接到电力输送网(7)，/n-至少两个、优选是多于两个的功率输出端口(3a、3b、...、3n)，每个功率输出端口(3a、3b、...、3n)用于连接到等离子体处理室(9a、9b、...、9n)中的相应一个，/n-控制装置(4)，其被配置成能够使用以下中的至少一项的控制参数控制所述单元(1、1')以将双极性输出功率输送到功率输出端口(3a、3b、...、3n)：功率、电压、电流、激励频率或用于保护措施的阈值，/n控制装置(4)包括用于每个输出端口(3a、3b、...、3n)的虚拟电源(24a、24b、...、24n)，包含与每个单独的输出端口(3a、3b、...、3n)的操作相关联的所有固定参数和时变参数以及内部状态的独立完整组的每个虚拟电源(24a、24b、...、24n)被保存在控制装置(4)中。/n
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