[发明专利]肖特基光检测器在审

专利信息
申请号: 201880040440.6 申请日: 2018-08-20
公开(公告)号: CN110870084A 公开(公告)日: 2020-03-06
发明(设计)人: 余国民;H.阿贝迪亚斯尔;A.J.齐尔基 申请(专利权)人: 洛克利光子有限公司
主分类号: H01L31/108 分类号: H01L31/108;H01L31/0224
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 俞华梁;闫小龙
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种光电子装置以及一种制作光电子装置的方法。所述装置包括:脊形波导,所述脊形波导由掺杂硅形成,所述掺杂波导具有脊突部分,所述脊突部分含有最上表面和两个侧壁表面;以及与所述两个侧壁表面相邻的厚片部分。所述装置还包括:金属接触层,所述金属接触层直接邻接所述最上表面和所述两个侧壁表面,并且所述金属接触层沿着所述厚片部分的一部分延伸以便在所述金属接触层与所述脊形波导之间提供肖特基势垒。
搜索关键词: 肖特基光 检测器
【主权项】:
暂无信息
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