[发明专利]光学调制器以及制作光学调制器的方法在审

专利信息
申请号: 201880040605.X 申请日: 2018-08-21
公开(公告)号: CN110945413A 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 张毅;A.J.齐尔基 申请(专利权)人: 洛克利光子有限公司
主分类号: G02F1/025 分类号: G02F1/025
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 俞华梁;陈岚
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种MOS电容器型光学调制器以及制作MOS电容器型光学调制器的方法,其中所述MOS电容器型光学调制器具有MOS电容器区,所述MOS电容器区包括由外延生长的结晶稀土氧化物(REO)形成的绝缘体。
搜索关键词: 光学 调制器 以及 制作 方法
【主权项】:
暂无信息
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