[发明专利]用于与流体的体积流相互作用的MEMS换能器及其制造方法在审
| 申请号： | 201880041742.5 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN110785374A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 哈拉尔德·申克;霍尔格·康拉德 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 潘剑颖 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于与流体的体积流相互作用的MEMS换能器，包括衬底，该衬底包括具有具有形成多个衬底平面的多个层的层堆叠并且在层堆叠内包括腔。MEMS换能器包括连接到腔内的衬底的机电换能器，并且在多个衬底平面的至少一个移动平面内包括可变形的元件，在移动平面内的可变形元件的变形和流体的体积流因果相关。MEMS换能器包括在层堆叠的层内布置电子电路，该电子电路连接到机电换能器并且被配置为提供在可变形元件的变形和电信号之间的转换。 | ||
| 搜索关键词： | 层堆叠 衬底 机电换能器 可变形元件 衬底平面 移动平面 体积流 流体 变形 电子电路连接 电子电路 可变形 腔内 转换 配置 | ||
【主权项】：
1.一种用于与流体的体积流(12)相互作用的MEMS换能器，包括：/n衬底(14)，包括具有形成多个衬底平面的多个层(32a-32b,34a-34b,36)的层堆叠，并且在所述层堆叠内包括腔(16)；/n机电换能器(18；18a-18f)，连接到所述腔(16)内的衬底(14)，并且包括在所述多个衬底平面的至少一个移动平面内可变形的元件(22；22a-22f；30；40；150；160)，所述可变形元件(22；22a-22f；30；40；150；160)在所述移动平面内的变形与所述流体的体积流(12)因果相关；/n电子电路(17；17a-17b)，布置在所述层堆叠的层(32a-32b)内，所述电子电路(17；17a-17b)连接到所述机电换能器(18；18a-18f)，并且被配置为提供所述可变形元件(22；22a-22f；30；40；150；160)的变形与电信号之间的转换。/n
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