[发明专利]超级合金溅射靶在审
| 申请号： | 201880042156.2 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN111194359A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | P·波尔西克;J·拉姆 | 申请（专利权）人： | 普兰西复合材料有限公司 |
| 主分类号： | C22C19/00 | 分类号： | C22C19/00;C23C14/32;C23C14/34;C22C1/04;C22C19/05;B22F3/105;C22C19/07;C22C19/03 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张萍;黄念 |
| 地址： | 德国滨湖*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明包括超级合金靶，其中该超级合金靶具有随机晶粒取向的多晶结构，该结构中的平均晶粒尺寸小于20μm，并且该结构中的孔隙率小于10％。此外，本发明包括通过粉末冶金生产制造超级合金靶的方法，其中所述粉末冶金生产从超级合金的合金粉末开始并且包括合金粉末的放电等离子体烧结(SPS)步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 超级 合金 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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