[发明专利]气体过滤系统和方法在审

专利信息
申请号: 201880044861.6 申请日: 2018-07-03
公开(公告)号: CN110891667A 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: M·阿尔凯蒂;莱安德罗·加兰蒂奥库尔蒂 申请(专利权)人: 埃科斯普雷技术有限公司
主分类号: B01D53/047 分类号: B01D53/047
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 汤慧华;杨明钊
地址: 意大利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种气体过滤系统(1000,3000,4000,5000,6000),包括:用于气体的输入部(1100);反应器(1301,1302,1303),其用于过滤输入部(1100)处的气体并由此获得经过滤的气体;用于经过滤的气体的输出部(1200);用于在反应器(1301,1302,1303)内部产生真空的真空发生器(1401,1402),其中真空发生器(1401,1402)被配置为使得在第一真空阶段(T2)中施加第一预定真空值(V1),并且使得在第二真空阶段(T3)中施加第二预定真空值(V2);过滤系统(1000,3000,4000)还包括在输出部处连接至反应器(1301,1302,1303)的流控制器(1501,1502,1503),其中流控制器(1501,1502,1503)被配置为使得在第一真空阶段(T2)期间阻止经过滤的气体引入到反应器(1301,1302,1303)中,并且其中流控制器(1501,1502,1503)被配置为使得在第二真空阶段(T3)期间允许从输出部(1200)开始将经过滤的气体和/或第二气体引入到反应器(1301,1302,1303)中。
搜索关键词: 气体 过滤 系统 方法
【主权项】:
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