[发明专利]表面特性评价方法、表面特性评价装置以及表面特性评价系统

摘要

提供一种能够对实施了表面处理的被检体的表面处理状态将深度方向上的分布考虑在内地高精度地进行评价的表面特性评价方法、表面特性评价装置以及表面特性评价系统。包括以下工序：测定工序，获取被检体的在深度方向上的阻抗的分布；评价工序，基于求出的阻抗，对被检体的在深度方向上的表面处理状态进行评价，其中，评价工序包括以下工序：准备未处理品、合格品及评价品，并制作基准测定值组，该基准测定值组是关于未处理品和合格品的阻抗来针对每个频率计算阻抗比(γ1)而得到的；制作评价测定值组，该评价测定值组是关于评价品的阻抗来针对每个频率计算评价品的阻抗与未处理品的阻抗的阻抗比(γ2)而得到的；以及基于根据表面处理工序从区域判定、峰值判定及面积判定中选择出的评价方法，将基准测定值组与评价测定值组进行比较，来对评价品的表面处理状态进行评价。