[发明专利]用于使用多个光束来写可成像材料的方法和装置有效
| 申请号： | 201880046599.9 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN110914761B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 巴尔特·马克·吕克·瓦特恩;德克·卢多·朱利安·德劳 | 申请（专利权）人： | 赛康印前公众有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B41C1/05;G03F7/24 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 陆建萍;杨明钊 |
| 地址： | 比利时*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于使用多个光束来写可成像材料的方法，包括：准备后续图案，每个图案具有Y个N像素位置的行，所述后续图案包括第一和第二图案；其中第一图案和第二图案在由像素位置的O列和Y行组成的重叠区域中与彼此重叠；对所述第一图案的每行i选择Mi1个像素位置；对所述第二图案的每行i选择Mi2个像素位置；通过相对于所述可成像材料在快速扫描方向上移动N个光束，对每行i同时写所述Mi1个选定像素位置；以及接着相对于所述可成像材料在慢速扫描方向上将所述N个光束移过(N‑O)个像素位置；通过相对于所述可成像材料在快速扫描方向上移动N个光束，对每行i同时写Mi2个选定像素位置；其中所述选择使得某些条件被满足。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 使用 光束 来写可 成像 材料 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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