[发明专利]MEMS低温冷却器系统和方法有效
| 申请号： | 201880047338.9 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110914610B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | A·菲德勒 | 申请（专利权）人： | 菲力尔系统公司 |
| 主分类号： | F25B9/14 | 分类号： | F25B9/14;F02G1/043 |
| 代理公司： | 青岛联智专利商标事务所有限公司 37101 | 代理人： | 阎娬斌;迟姗 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于使用微机电系统MEMS技术以提供装置或传感器系统的低温和/或一般冷却的系统和方法的技术。在一个实施例中，一种系统包括压缩机组件和MEMS膨胀器组件，所述MEMS膨胀器组件经由气体输送管线与所述压缩机组件流体连通，所述气体输送管线配置成将所述MEMS膨胀器组件与所述压缩机组件物理分离并热解耦。所述MEMS膨胀器组件包括多个膨胀器单元，每个膨胀器单元包括MEMS置换器、单元蓄热器，以及布置在所述MEMS置换器和所述单元蓄热器之间的膨胀体积，并且所述多个单元蓄热器配置成组合以形成用于所述MEMS膨胀器组件的邻接共用蓄热器。 | ||
| 搜索关键词： | mems 低温 冷却器 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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