[发明专利]气体供给系统在审
| 申请号： | 201880047616.0 | 申请日： | 2018-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110892182A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 三浦尊;中田知宏;稻田敏之;渡边一诚;近藤研太;佐藤秀信 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | F16K7/16 | 分类号： | F16K7/16;F16K31/44;F16K31/50;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 王皓 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 气体供给系统(1)包括：自动阀(18)，其设置在流路(6)中并通过自动开闭来调节向腔室(4)供给的工艺气体的流量；以及手动阀(20)，其设置在流路(6)中的自动阀(18)的下游且位于腔室(4)附近，通过手动开闭来调节工艺气体的流量。手动阀(20)是具有隔膜(24)的直接隔膜阀，该隔膜(24)随着开闭与阀杆(32)和阀盘(28)联动，从而落座于阀座(44)或从阀座(44)离开，该手动阀(20)具有调节阀行程的行程调节机构(36)。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供给 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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