[发明专利]高品质因数MEMS硅生命之花式振动陀螺仪在审
申请号: | 201880049876.1 | 申请日: | 2018-06-07 |
公开(公告)号: | CN110998231A | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 黄莲欣;洛根·D·索伦森;拉维夫·佩拉西亚;阮勋;大卫·T·常 | 申请(专利权)人: | HRL实验室有限责任公司 |
主分类号: | G01C19/5684 | 分类号: | G01C19/5684 |
代理公司: | 北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙) 11412 | 代理人: | 王再芊 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种谐振器包括:锚件;位于谐振器的外周界上的外加劲环;以及位于锚件与外加劲环之间的多个弯曲弹簧。 | ||
搜索关键词: | 品质因数 mems 生命 花式 振动 陀螺仪 | ||
【主权项】:
暂无信息
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