[发明专利]小间隙设备系统及制造方法有效
| 申请号： | 201880049931.7 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111819653B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 贾瑞德·威廉·施韦德;伊戈尔·巴尔加汀;塞缪尔·M·尼凯斯;林晨;约翰·普罗文 | 申请（专利权）人： | 火花热离子学公司;宾夕法尼亚大学理事会 |
| 主分类号： | H01J1/88 | 分类号： | H01J1/88 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;杨明钊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 小间隙设备系统优选地包括两个或更多个电极和保持在两个或更多个电极之间的间隙的一个或更多个隔离物。用于小间隙设备系统的隔离物优选地包括限定网状结构的多个腿部。隔离物和/或小间隙设备的制造方法优选地包括：限定横向特征、沉积隔离物材料、选择性地去除隔离物材料、使隔离物与制造基底分离和/或组装小间隙设备。 | ||
| 搜索关键词： | 间隙 设备 系统 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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