[发明专利]阻气薄膜的制造方法在审
申请号: | 201880051016.1 | 申请日: | 2018-07-26 |
公开(公告)号: | CN111133124A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 柏充裕;沼田幸裕;伊关清司 | 申请(专利权)人: | 东洋纺株式会社 |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;B32B9/00;C23C14/24;C23C14/30 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明的目的在于,提供可以以高速生产透明性、阻气性优异的阻气薄膜的制造方法。一种阻气薄膜的制造方法,其特征在于,其为制造在高分子基材的至少一面层叠无机薄膜层而成的阻气薄膜的方法,该无机薄膜层利用真空蒸镀法成膜,并且作为蒸镀材料,使用Al和SiO |
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搜索关键词: | 薄膜 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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