[发明专利]在空腔中检测微波场的方法及设备有效
| 申请号： | 201880051023.1 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN110998340B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 阿南塔克里希纳·朱普迪;欧岳生;雅各布·纽曼;普雷塔姆·拉奥;和田裕一;维诺德·拉马钱德兰 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于转送微波空腔中的微波场强度的设备。在一些实施方式中，所述设备包括微波可穿透的基板，所述微波可穿透的基板具有至少一个射频(RF)检测器，所述RF检测器能够检测微波场并产生信号，所述信号与检测到的所述微波场的微波场强度相关联，及传送器，所述传送器从所述RF检测器接收与检测到的所述微波场相关联的所述信号，并传送或储存关于检测到的所述微波场强度的信息。在一些实施方式中，所述设备通过位于所述RF检测器附近的有线、无线或光学传送器来转送所述微波强度。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 检测 微波 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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