[发明专利]单轴和双轴的转速传感器

摘要

本发明要求保护一种转速传感器(1)，具有带着主延伸平面的衬底和第一质量振动器(2)和第二质量振动器(3)，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)与所述衬底能振动地连接，并且此外，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振动器(3)能振动地相互连接，其中，所述第一质量振动器(2)包括第一电极组件(7)，其中，所述第二质量振动器(3)包括第二电极组件(8)，其中，所述衬底包括第三电极组件(9)，其中，所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第一旋转轴线的第一转速和/或所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第二旋转轴线的第二转速，其中，所述第一旋转轴线沿着基本上平行于所述主延伸平面布置的X方向(101)延伸，其中，所述第二旋转轴线沿着基本上垂直于所述主延伸平面布置的Z方向(103)延伸，其中，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振动器(3)在驱动运动方向上能沿着垂直于所述X方向(101)并且垂直于所述Z方向(103)布置的Y方向(102)反相地偏移，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第一旋转轴线旋转时受到沿Z方向(103)的第一力，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第二旋转轴线旋转时受到沿X方向(101)的第二力。