[发明专利]流体供给管线及动作解析系统在审
| 申请号： | 201880051417.7 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111033430A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 丹野龙太郎;相川献治;原田章弘;铃木裕也;松田隆博;米华克典;落石将彦;篠原努 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;F16K37/00 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 张黎;龚敏 |
| 地址： | 日本国大阪府大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明旨在精密地监视利用多个流体控制设备所构成的流体供给管线整体。另外，抑制每个流体控制设备的动作的偏差来提高流体供给管线的精度。利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F1、V11～V14)所构成的流体供给管线(L1)具有：第一连接单元，其将流体供给管线(L1)外的机构与流体供给管线(L1)上的流体控制设备(F1)进行连接；以及第二连接单元，其在流体供给管线(L1)从第一连接单元分支，来与其他流体控制设备(F1、V11～V14)进行连接。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 供给 管线 动作 解析 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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