[发明专利]具有介电翼片的高Q体声谐振器有效
| 申请号： | 201880052432.3 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN111034037B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | T·波拉德;A·A·希拉卡瓦 | 申请（专利权）人： | RF360新加坡私人有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张曦 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 给出了具有高耦合和改进的杂散模式抑制的高Q声学BAW谐振器。BAW谐振器包括由底部电极(BE)、压电层(PL)和顶部电极层(TE)这三层的重叠部形成的有源谐振器区域(AR)。内部翼片(IF)由介电3D结构形成，该介电3D结构位于有源谐振器区域(AR)的边缘区域(MR)上或与其相邻，向内朝向其中心延伸，并且具有节段，该节段与谐振器的顶表面平行地且远隔地伸展，而保持到其的内部间隙(IG)或角度Θ。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 介电翼片 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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