[发明专利]清洁组合物有效
| 申请号： | 201880053404.3 | 申请日： | 2018-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110997643B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | T·多瑞;E·A·克内尔;上村哲也 | 申请（专利权）人： | 富士胶片电子材料美国有限公司 |
| 主分类号： | C07D253/04 | 分类号： | C07D253/04;C07D253/06;C08K5/3492 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 艾佳 |
| 地址： | 美国罗*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及非腐蚀性清洁组合物，可用于例如作为多步制造工艺中的中间步骤，从半导体衬底上去除残余物(例如，等离子体蚀刻残余物和/或等离子体灰化残余物)和/或金属氧化物。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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