[发明专利]铁电电容器、铁电场效应晶体管以及用于形成包括导电材料和铁电材料的电子装置的方法

摘要

用于形成包括导电材料和铁电材料的电子装置的方法包括形成复合堆叠，所述复合堆叠包括多种含金属氧化物的绝缘体材料。所述含金属氧化物的绝缘体材料中的至少一种在非铁电绝缘材料之间并且直接抵靠非铁电绝缘材料。所述多种含金属氧化物的绝缘体材料具有与紧邻的所述非铁电绝缘体材料不同的组成。所述复合堆叠经受至少200℃的温度。在所述经受处理之后，所述复合堆叠包括多种含铁电金属氧化物的绝缘体材料，其中至少一种在非铁电绝缘材料之间并且直接抵靠非铁电绝缘材料。在所述经受处理之后，所述复合堆叠是铁电的。形成与所述复合堆叠相邻的导电材料。还公开了装置。