[发明专利]炉控频率基准振荡器及其制作方法在审
| 申请号： | 201880056339.X | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN111052605A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | A·奥加;A·贾克拉 | 申请（专利权）人： | 京瓷帝基廷公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;B81B3/00;H01L41/08;H03H3/007;H03L1/02;H03L1/04;H03L7/06;H03L7/083 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 酆迅;傅远 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种温度补偿微机电振荡器及其制造方法。振荡器包括谐振元件，该谐振元件包括高掺杂硅和致动器，该致动器用于激励所述谐振体进入具有特征频率‑温度曲线的谐振模式。选择谐振元件和致动器的特性，使得曲线在85℃或更高的翻转温度处具有高温翻转点。此外，振荡器包括恒温控制器，用于将谐振器元件的温度保持在所述高翻转温度处。 | ||
| 搜索关键词： | 频率 基准 振荡器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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