[发明专利]透明或半透明薄膜的表面异物检测仪有效
| 申请号： | 201880057116.5 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111133299B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 金镇浩 | 申请（专利权）人： | 杰德克思股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G02F1/13;G01N21/94;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 太香花;崔龙铉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种透明或半透明薄膜的表面异物检测仪。本发明的透明或半透明薄膜的表面异物检测仪，包括：光学单元；在内侧收容所述光学单元的光学机壳；向所述薄膜照射光的光照射单元；以及提供在上部能粘合所述薄膜的粘合面，由可以吸收或者以预定比率以下反射光的光吸收材料而制成的薄膜固定器。根据本发明，通过将固定器支撑架由在与周边空间悬浮的异物之间可以产生预定以上的静电的材料而制成，从而，可以防止在周边工作空间悬浮或飞散的异物转移到薄膜侧，提高检测可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 半透明 薄膜 表面 异物 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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