[发明专利]电压施加装置和输出电压波形的形成方法有效
| 申请号： | 201880057271.7 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN111051904B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 石井滋树;杉山克昌;成川健一;品川衡二;名仓卓身 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/3183 | 分类号： | G01R31/3183;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在对形成于基片上的多个被检查器件检查电特性的检测器中，对被检查器件施加电压的电压施加装置，其在被赋予规定的设定条件时，设定作为过渡电压设定参数的过渡阶梯数、阶梯时间、阶梯电压，以能够形成适合于规定的设定条件的、具有多个过渡阶梯的阶梯状的过渡电压波形，基于此，形成具有阶梯状的过渡电压波形的输出电压。将输出电压输入到DUT阶梯时的响应为产生过冲的2阶以上的高阶延迟系统，各过渡阶梯的阶梯时间的终点被设定成二阶延迟系统的阶梯响应曲线中的从上升时间的终点至超调时间之间的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 电压 施加 装置 输出 波形 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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