[发明专利]使用统一神经网络进行缺陷检测及分类的方法及系统有效
| 申请号： | 201880057727.X | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN111094952B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 贺力;M·马哈德凡;S·梵卡泰若曼;应华俊;杨河东 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N23/2251;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供用于检测样品上的缺陷且对所述缺陷进行分类的方法及系统。一种系统包含由一或多个计算机子系统执行的一或多个组件。所述一或多个组件包含神经网络，所述神经网络经配置以检测样品上的缺陷且对在所述样品上检测到的所述缺陷进行分类。所述神经网络包含第一部分，所述第一部分经配置以确定由成像子系统产生的所述样品的图像的特征。所述神经网络还包含第二部分，所述第二部分经配置以基于所述图像的所述经确定特征检测所述样品上的缺陷，且基于所述图像的所述经确定特征对在所述样品上检测到的所述缺陷进行分类。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 统一 神经网络 进行 缺陷 检测 分类 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880057727.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
