[发明专利]微机械传感器设备及相应的制造方法有效
| 申请号： | 201880058020.0 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN111051839B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | T·林德曼;F·罗尔夫林;C·德林;T·弗里德里希;C·舍林;J·肯特纳 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00;G01L19/06;B32B3/30;G01D11/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械传感器设备和一种相应的制造方法。所述微机械传感器设备构型为具有：具有正侧(VS)和背侧(RS)的传感器衬底(2)；设置在正侧(VS)上的传感器区域(1)，所述传感器区域能够与周围环境介质接触；施加在正侧(VS)上的用于覆盖传感器区域(1)的封盖装置(4)。在封盖装置(4)和/或在传感器衬底(2)中形成有用于将周围环境介质传递到传感器区域(1)上的一个或多个毛细管(3)，其中，在毛细管(3)的内壁(I)上至少局部地设有疏液层(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 设备 相应 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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