[发明专利]驱动和感测平衡、半联接三轴陀螺仪有效
| 申请号： | 201880058031.9 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN111065888B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 多鲁克·桑卡;罗伯特·海尼诗;豪里·乔哈里-加勒;乔瑟夫·席格 | 申请（专利权）人： | 应美盛公司 |
| 主分类号： | G01C19/574 | 分类号： | G01C19/574;G01C19/5755;G01C19/5747 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 南霆;程爽 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供驱动和感测平衡、半联接三轴陀螺仪，在第一方面，角速率传感器包括基板和锚定到基板的旋转结构。角速率传感器还包括锚定到基板上的驱动质量块和将所述驱动质量块与所述旋转结构联接的元件。所述角速率传感器还包括用于驱动所述驱动质量块沿着与所述基板共面的第一轴线振动并且用于驱动所述旋转结构绕垂直于所述基板的第二轴线旋转振动的致动器；以及在感测模式下响应于科里奥利力来感测所述旋转结构的运动的换能器。在第二方面，角速率传感器包括基板和两个剪切质量块，所述剪切质量块平行于所述基板并且经由挠性元件锚定到所述基板。在其他实施例中，提供了一种动态平衡的三轴陀螺仪架构。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 平衡 联接 陀螺仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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