[发明专利]激光装置和对薄膜进行加工的方法

摘要

一种对沉积在基底上的薄膜进行光纤激光加工的方法包括：提供来自至少一个光纤激光器的激光束，该激光束通过光束成形单元被引导到薄膜上。光束成形光学器件被配置成将激光束成形为线光束，该线光束照射薄膜表面上的第一照射薄膜区域Ab，其中照射薄膜区域Ab是薄膜区域Af的一部分。通过在连续的照射之间使光束成形光学器件和膜在第一方向上以距离dy相对彼此连续移位，在膜表面上形成一系列均匀的照射薄膜区域Ab，由此限定第一细长列。此后，光束成形光学器件和膜在横向于第一方向的第二方向上以距离dx彼此相关地移位，距离dx小于照射膜区域Ab的长度。通过执行用于形成各个列的步骤，细长列彼此交叠，从而覆盖期望的薄膜区域Af。选择距离dx和dy，使得膜区域Af的每个位置在累积的预定持续时间内曝光于成形的激光束。