[发明专利]制备五氯二硅烷的方法和包含其的纯化反应产物在审
申请号: | 201880058352.9 | 申请日: | 2018-07-30 |
公开(公告)号: | CN111065602A | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | B·凯托拉;N·莫厄尔昌;J·杨;X·周 | 申请(专利权)人: | DDP特种电子材料美国第9有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107;B01D3/00 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 徐舒 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种制备五氯二硅烷的方法。所述方法包括用金属氢化物化合物部分还原六氯二硅烷,以得到包含五氯二硅烷的反应产物。所述方法进一步包括纯化所述反应产物,以得到包含所述五氯二硅烷的纯化反应产物。还公开了包含根据所述方法形成的五氯二硅烷的纯化反应产物。 | ||
搜索关键词: | 制备 五氯二 硅烷 方法 包含 纯化 反应 产物 | ||
【主权项】:
暂无信息
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